X射線熒光光譜儀可以解析化學元素表中的大多數原素，具體來說，從鈉元素到鈾元素都能夠使用這些技術應用開展檢測分析。但是對質量數較低的原素，氣體會對檢驗效果出現很大的影響；由低質量數原素出現的熒光值通常更低，而且試品基體中的其他原素有可能會吸取低質量數原素的動能輻射。

　　X射線熒光光譜儀關鍵由下列幾部份構成：

　　（1）激起系統：關鍵構件為X射線管，可以産生原級X射線，用以直射試品激起熒光X射線；

　　（2）分光系統：對來源于試品被測原素産生的特點熒光X射線開展辨别；

　　（3）探測儀：對試品被測原素的特點熒光X射線開展抗壓強度探測；

　　（4）儀器控制和數據處理系統：解決探測儀數據信号，得出解析效果。

　　X射線熒光光譜儀的測試流程：

　　（1）選取統計分析方法與制樣方法。統計分析方法通常有主要參數法、半主要參數法、經驗系數法等，制樣方法通常有抛光法、壓片法、濾紙片法和熔片法，常見粉末壓片法制樣，采用主要參數法測試。

　　（2）将配制好的樣照放進試品杯，放進試品交換器中，自動進樣至試品室，X射線管産生原級X射線直射試品，激起出待測原素的熒光X射線。

　　（3）試品輻射出的熒光X射線利用分光晶體，将X射線熒光光譜散射成孤立的單色分析線，由探測儀檢測各譜線的抗壓強度，依據采用的統計分析方法換算成原素濃度值，取得試品中被測原素成分。